2022-07-03
真空泵工作原理及真空泵類型:
一個容器放在自然環(huán)境中,如果不改變其內(nèi)部氣體壓強(qiáng),那么容器內(nèi)外部的氣體壓力達(dá)到平衡狀態(tài),在數(shù)值上等于大氣壓。要使容器內(nèi)部達(dá)到真空狀態(tài).容器內(nèi)的氣體必須排出,使內(nèi)部氣體的壓力小于外部大氣壓。通過機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法,將氣體從容器中排出,獲得真空的設(shè)備稱為真空泵。真空泵根據(jù)其工作原理分為壓縮型(可變型)和吸附型。壓縮真空泵的工作原理是將泵入口端的氣體壓縮到出口端,水環(huán)真空泵并排放到泵外。
常見的壓縮真空泵包括:旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵、渦輪葉片等。吸附真空泵的工作原理是吸附泵體內(nèi)的氣體,達(dá)到降低氣體壓力的目的。常見的吸附真空泵包括:電離吸氣離子泵、物理或化學(xué)吸附吸附泵、吸氣泵和低溫冷凝泵。
吸附真空泵不同于壓縮真空泵,吸附真空泵不是將氣體排出泵,而是儲存在泵中,前者可以達(dá)到旋轉(zhuǎn)真空泵的真空度高于后者,但泵速小,適用容器小。真空電阻爐采用壓縮真空泵,如機(jī)械泵、羅茨真空泵、擴(kuò)散泵等。
各種真空泵都有自己的工作范圍,有些泵可以直接從大氣狀態(tài)開始工作,如機(jī)械泵、吸附泵,有些泵不能直接從大氣狀態(tài)開始工作,如擴(kuò)散真空泵、分子泵、離子泵等。
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