2021-05-23
真空泵機(jī)組是指使用機(jī)械，物理，化學(xué)或物理化學(xué)方法從被抽出的容器中抽出空氣以獲得真空的裝置或設(shè)備。一般而言，真空泵機(jī)組是一種使用各種方法來改善，產(chǎn)生和維持封閉空間中的真空的裝置。根據(jù)真空泵機(jī)組的工作原理，真空泵機(jī)組基本上可以分為兩類，即集氣泵和輸氣泵。廣泛用于冶金，化工，食品，電子涂料等行業(yè)。
①熱偶真空計(jì)
一種真空計(jì)，其原理是熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān)，而元件的溫度與熱傳導(dǎo)有關(guān)的氣體。
②電離真空計(jì)
由圓柱狀收集器，柵格和位于柵格中心的細(xì)絲組成，圓柱狀收集器在柵格外部。熱陰極發(fā)射電子以使氣體分子電離，并且離子被收集器收集，真空計(jì)根據(jù)收集的離子電流測量氣壓。
③復(fù)合真空計(jì)
由熱電偶真空計(jì)和熱陰極電離真空計(jì)組成，測量范圍為大氣至10-5Pa。
在陽極圓柱體的兩端有一對陰極板。在外部磁場的作用下，在陽極圓柱體中形成Penning放電以產(chǎn)生離子。根據(jù)陰極板收集到的離子電流，用真空計(jì)的大小來測量氣壓。
⑤電阻真空計(jì)
一種真空計(jì)，其原理是通過橋式電路測量加熱元件的電阻與溫度相關(guān)，而元件的溫度與氣體傳導(dǎo)相關(guān)，從而測量真空度。
電容薄膜真空計(jì)具有測量精度高，動態(tài)響應(yīng)快，測量結(jié)果與氣體成分，耐蝕性和耐氣壓沖擊性等無關(guān)的一系列優(yōu)點(diǎn)。越來越受到關(guān)注。它替代了汞壓力表，機(jī)油壓力表，電阻真空表，熱電偶真空表，甚至部分替代了電離表。
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